PVD前清洗方法大全

　　清洗方法：超声波清洗法

　　清洗手段：采用纯水、中性洗涤剂、异丙醇液体甲基睾丸酮等洗涤介质

　　清洗过程：本法作为擦洗清洗后的处理工艺清除油脂污物，其过程是光用中性洗涤剂逆行擦洗，然后用纯水超声波清洗15分钟。之后纯水冲洗。再用异丙醇超声波清洗15分钟，之后异丙醇清洗，最后用纯水超声波清洗后纯水冲洗。然后经氮气吹风机吹干。

　　清洗方法：离子轰击清洗法

　　清洗目的：去除表面污物和吸附物

　　清洗手段：采用离子轰击

　　清洗过程：基片置于10~1000Pa的真空室中施加0.5~1KV高压产生低能量的辉光放电后使加速的正离子轰击基片表面。

　　清洗方法：烘烤清洗法

　　清洗目的：去除水分子

　　清洗手段：采用加热使基片升温

　　清洗过程：在高真空中将基片加热到200℃后去除基片上残余的清洗液及水分。也可以在大气下加热到300-500℃高温，加热时间在30-60分钟。

　　清洗方法：蒸汽清洗法

　　清洗目的：去除油脂等碳氢化合物

　　清洗手段：采用甲基睾丸丙酮、异丙烯、三氯乙烯等蒸汽

　　清洗过程：先进行擦洗清洗或超声波清洗后再用此法。其过程是将基片放在沸腾的甲基丸酮、异丙烯或三氯乙烯蒸汽中使附着的油脂溶解。

　　清洗方法：紫外线和臭氧清洗法

　　清洗目的：去除动脂等有机物

　　清洗手段：采用紫外线和臭氧的物理化学作用

　　清洗过程：本法是作为上述各种方法的后处理工艺来使用，其过程是将基片置放在低压紫外线辐照器和臭氧发生器下面用紫外线向臭氧照射几十秒，紫外线强度在基片为5mm处为1.6mw/cm2，臭氧发生器距基片约为6cm.

　　镀前处理方法：有机溶剂去油法

　　清洗目的：去油

　　工艺过程式配方：三氯乙烯、三氯三氟乙烷、二氯二氟乙烷、汽油、丙酮、四氯化碳溶制等溶液。去油规程是：汽油擦去零件表面油脂，放入溶液缸内浸洗3-10分钟，再放三氯乙烯槽用超声波去油5-10分钟。

　　备注：三氯乙烯去油效果最好，但毒性大，用时应注意通风。铝、镁零件等用三氯乙烯。

　　镀前处理方法：汽油、丙酮联合去油法

　　清洗目的：去油

　　工艺过程式配方：先对零件表面用汽油浸泡的棉纱擦洗，或在汽油内进行超声波清洗12-20分钟，汽油除油后再用丙酮除油，方法如上。

　　镀前处理方法：碱溶液化学去油法

　　清洗目的：利用浮化作用去掉金属表面上的矿物油

　　工艺过程式配方：可在海鸥洗净剂与水配比为1:10的溶液中煮沸10-15分钟，或用超声波振动20-30分钟去油。

　　镀前处理方法：乳化去油法

　　清洗目的：去除金属上粘附的润滑油脂

　　工艺工程式配方：配方为：O·P乳化剂：5-8g/l

　　水玻璃：50-60g/l

　　105号洗涤剂：5-10g/l

　　焦磷酸钠：3-15g/l

　　将焦磷酸钠放入油槽搅拌均匀，按规定量放入O·P乳化剂、水玻璃和105号洗涤剂，不断搅拌注入适量水，保持温度30℃左右即可。

　　镀前处理方法：电化学去油法(即电解去油法)

　　清洗目的：去油

　　工艺过程式配方：以被去油零件为一个电极(常用阴极)加上直流电压，电解液为10-20%的NaOH或纯碱，工作温度为30-80℃

　　镀前处理方法：金属零件去污法

　　清洗目的：去除零件表面的氧化物、毛刺、疏松结构

　　工艺过程式配方：用一定流速的氧化镁细粉和水的混合物向金属零件表面喷射，也可用滚筒内加磨料(如金刚细沙、木屑、棉籽皮等)进行抛磨。

　　镀前处理方法：金属零件化学清洗法

　　清洗目的：去掉表面氧化物氧化膜的各种污物

　　工艺过程式配方：一般是先按上法去油，再在化学清洗液中浸洗，用自来水冲洗5-15分钟，再浸入2-5%的氨水溶液中和，再用自来水冲洗后，去离子水浸洗两次，最后用无水乙醇浸泡脱水，再用80-100℃干燥箱烘干或热风吹干。

　　备注：工业上应用时，可用氟利昂代替无水乙醇。

　　镀前处理方法：刀具镀TiN的镀前处理法

　　清洗目的：去油、去污、清楚表面疏松组织及毛刺脱水等

　　工艺过程式配方：三氯乙烯浸泡3分钟去油，带有蒸汽的三氯乙烯浸泡和蒸汽浴3分钟，50℃碱性金属清洗机超声波清洗3分钟，25℃去离子水浸泡，可流动水冲洗及超声波液处理，氟利昂113浸泡3分钟并附以手动喷枪喷射F113处理过程应在良好通风的系统中进行。