炉体尺寸

φ1900*H1300

有效空间

φ1600*H1000

工件最大直径*数量

φ175*20

标准配置

阴极弧8个/中频圆柱靶6对

工作电压/频率

380V/50Hz

实际功率

120KW

应用技术

ZP+ARC（选配）

靶材数量

圆柱靶12个/弧靶8个

极限压力

5.0×10^-4Pa

漏率

<10^-3Pa.L/s

抽气时间

大气到4X10^-3 < 25分钟

真空系统

分子泵、罗茨泵、旋片泵

标准涂层效果

IP黑，玫瑰金，IP金，宝石蓝，香槟金，炫银，咖啡色，七彩，枪黑色，锆金，玫瑰红等

电源类型

直流叠加脉冲偏压电源、中频磁控溅射电源、专用真空弧电源

工件转架结构

下转架结构

真空室结构

立式单开门

生产周期

1.5-3.5小时/炉

外围尺寸

L3600*W3200*H2600mm

控制方式

手动+半自动+全自动一体化  

配套条件

循环水压力：2-3KG/CM³

工业PC+工控软件+PLC

水量：10T/H  

自己开发的镀膜专用控制软件

压缩空气：4-6 KG/CM³

工作气体

Ar、N₂、O₂、C₂H₂等

应用

装饰类产品镀膜

备注

真空室尺寸，外围尺寸，设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做，以上信息仅供参考。