设备简述
炉体尺寸 |
φ1600*H1200 |
有效空间 |
φ1250*H900 |
工件最大直径*数量 |
φ210*16 |
标准配置 |
阴极弧5个/中频圆柱靶4对 |
工作电压/频率 |
380V/50Hz |
实际功率 |
70KW |
应用技术 |
ZP+ARC(选配) |
靶材数量 |
圆柱靶8个/弧靶5个 |
极限压力 |
5.0×10-4Pa |
漏率 |
<10-3Pa.L/s |
抽气时间 |
大气到4X10-3 < 25分钟 |
真空系统 |
分子泵、罗茨泵、旋片泵 |
标准涂层效果 |
IP黑,玫瑰金,IP金,宝石蓝,香槟金,炫银,咖啡色,七彩,枪黑色,锆金,玫瑰红等 |
电源类型 |
脉冲偏压电源 |
中频磁控电源 |
|||
专用真空弧电源 |
|||
工件转架结构 |
下转架结构 |
真空室结构 |
立式单开门 |
生产周期 |
1.5-3.5小时/炉 |
外围尺寸 |
L3200*W3500*H2600mm |
控制方式 |
PLC+触摸屏 组态软件 |
配套条件 |
循环水压力:2-3KG/CM3 |
工业PC+PLC+触摸屏 |
水量:10T/H |
||
自己开发的镀膜专用控制软件 |
压缩空气:4-6 KG/CM3 |
||
工作气体 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
应用 |
装饰镀镀膜 |
备注 |
真空室尺寸,外围尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,以上信息仅供参考。 |
扫一扫
微信客服咨询
服务热线
024-89335192