设备简介
炉体尺寸 |
φ3500*H2100 |
极限真空 |
6×10-4Pa |
工作电压/频率
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380V/50Hz |
实际功率
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250KW |
应用技术
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多弧 |
靶材数量
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30pcs |
生产周期
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10-30分钟/炉
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外围尺寸
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L4000*W3200*H2200MM |
可镀颜色
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TiN(金色),玫瑰色、咖啡色、锆色、枪黑色、香槟色等 |
工作气体 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
备注 |
真空室尺寸,外围尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做 |
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服务热线
024-89335192