设备优势
1.DLC的厚度可达到3μm以上
2. 膜层结合力1级
3.膜层硬度2200-2500HV
设备特点
1. 镀膜温度一般低于200℃,低温成膜,可适用于多种不适合高温加热的材料表面成膜。炉内温度由室温到300℃可调。
2. DLC膜层的SP3键含量在60%-70%左右,也可根据客户需求调整SP3键和SP2键的占比。
3.采用自动控制系统,大大提高了工艺稳定性和重复性。
4. 具有硬度高,摩擦系数低,耐磨,耐腐蚀,抗粘结性好且环保等特性。
设备简述
801 系列DLC低温镀膜机是我公司自主研发的类金刚石涂层镀膜机,采用独有的离子源和平面直流溅射靶源的技术,DLC涂层的性能介于金刚石与石墨之间,表现为质量稳定与基材结合力好,既具有较高的硬度同时又具有优异的摩擦性,良好的抗粘结性,耐腐蚀性好等优良的综合性能。广泛应用于发动机零部件,有色金属切削加工,冲压成型模具及滑动密封部件,医疗设备和器具,纺织行业等。
设备参数
炉体尺寸 |
Ф1100XH1300 |
有效空间 |
Ф810XH900 |
应用技术 |
CB+SPUTTER+PACVD |
装载量 |
16Pcs xφ120 |
标准涂层 |
DLC |
其他涂层 |
CR+WC+DLCetc. |
生产周期 |
5-7小时/炉 |
外围尺寸 |
L4300XW2700XH2200mm |
使用范围 |
适用于工具、模具、模具配件、3C零件、发动机零部件,有色金属切削加工,冲压成型模具及滑动密封部件,医疗设备和器具,纺织行业等 |
应用
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