炉体尺寸

φ800*H500

有效空间

φ450*H350

工件最大直径x数量

φ150*8pcs

溅射阴极

1HCD+4ARC

工作电压/频率

380v 50Hz

实际功率

30KW

应用技术

HCD+ARC

靶材数量

4 pcs

极限压力

5*10^-4Pa

漏率

<10-3Pa.L/s

涂层

颜色

纳米硬度（HV0.05）

摩擦系数

涂层厚度um

最高使用温度℃

结构

主要特点

应用

TiN

金黄色

2400

0.40

1-4

500

单层膜

通用的硬质涂层

主要用于车削、铣削、钻削及齿

轮类刀具的耐用涂层和成型、

注塑模的防粘连，提高润滑性

及耐磨保护涂层。

CrN

银灰色

2000

0.40

1-4

700

单层膜

通用的耐腐蚀膜层，低粘附倾向

具有良好的抗粘结性，抗腐蚀性，

耐磨性。几乎适合加工所有材料，

包括高硅铝、不锈钢、高镍合金、

钛和复合材料、注塑模具、 零件、

橡胶模具、硅胶模具、半导体封装模具等。

TiCN

蓝灰色

3000

0.20

1-4

400

梯度复合膜

低摩擦系数，高硬度

在TiN基础上，提高了涂层的硬度、

并降低摩擦系数， 主要用于高速钢刀具、冲压模具、成型模具。

TiAlN

紫红色

3500

0.40

1-4

850

单层复合膜

通用的硬质抗氧化涂层

红硬性良好，表面光洁度高，可用

于高速加工。适合模具钢、

HSS、硬质合金工具（加工材料

硬度低于HRC45）、薄壁件冲压

模具。

AlTiN

紫黑色

3800

0.45

1-4

900

多层复合膜

超高硬度，抗氧化

具有极高的微硬度，热硬度。

适合于具有高热应力的工具涂层，

并具备良好的耐热冲击性，

有快速间断切削应用的优先选择。

广泛用于硬质合金工具（加工

材料硬度低于HRC45）、

压铸模具。