设备用途：大面积电子枪蒸发光电膜、光学膜和防指纹膜。
爱科斯的IKS-OPT2700蒸发镀膜机为实现大量快速生产大面积光学膜镀膜和单层/多层表面改性膜而设计，本机为立式单腔体镀膜机，是一种基于电子枪蒸发的多层光学薄膜镀膜系统。本设备的主要产品蒸发沉积多层光学介质膜和防指纹膜等，例如，可见光彩色膜、铝反射膜、AF防指纹膜、低熔点有机物膜、可见光分光膜、可见光抗反射膜等，也可以为特定的简单光学特性膜系进行调试生产。设备参数
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炉体尺寸 |
Ф2700×H1670 |
工件架 |
φ2650*H420mm |
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真空度 |
极限真空:6×10-4Pa(24小时空载，不加热) |
重量 |
8000kg,地板承重﹥1000kg/m2 |
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漏率 |
＜4×10-3Pa×L/S(氦捡漏) |
温度 |
室温-250℃，温度均匀性±5% |
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工作真空 |
6*10-3Pa（自动工艺启动） |
供电 |
三相电, 380V，50Hz，60-100KW |
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低真空 |
10 分钟＜10Pa |
水冷 |
腔体流量大于4000l/h,泵组流量大于1800l/h 冷冻机流量大于1600l/h |
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高真空 |
6 分钟＜8×10-3Pa |
温水 |
蒸发源1800l/h，35-60℃ |
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真空测量 |
全程监控，实时取点 |
占地 |
L6×w5.5×H3.5m |
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应用 |
眼镜、反光镜、手机背板、防护罩、光通讯、光学显示等 |
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应用
中文 
