序号

名称

材质

数量

用途

备注

1

密封圈 Φ2.5*2.5

氟橡胶

2

测温

备件*2

2

唇形胶条长4500

真空橡胶

1

拉门密封

备件*2

3

O型密封圈 Φ15*4

氟橡胶

9

规管座

备件*2

4

O型密封圈Φ25*4

氟橡胶

4

加热器

备件*2

5

O型密封圈Φ25*4

氟橡胶

4

加热器

备件*2

6

油封 Φ10*Φ22*7

氟橡胶

4

 观察窗

备件*2

7

密封圈Φ104x4

氟橡胶

4

 观察窗

备件*2

8

0型密封圈Φ760X10

丁晴橡胶

1

机组

备件*2

9

0型密封圈170*5

丁晴橡胶

1

机组

备件*2

10

0型密封圈108*5

丁晴橡胶

1

机组

备件*2

11

0型密封圈85*4

丁晴橡胶

4

机组

备件*2

12

0型密封圈104*4

丁晴橡胶

2

机组

备件*2

13

油封Φ40XΦ62*10

氟橡胶

3

转架

备件*2

14

O型密封圈Φ105X4

氟橡胶

2

转架

备件*2

15

O型密封圈Φ11X4

丁晴

6

70圆柱靶

备件*2

16

油封20X36X10

丁晴

6

70圆柱靶

备件*2

17

O型密封圈Φ80X5

氟橡胶

6

70圆柱靶

备件*2

18

O型密封圈Φ90X5

氟橡胶

6

70圆柱靶

备件*2

19

油封30X50X10

氟橡胶

12

70圆柱靶

备件*2

20

O型密封圈Φ55X4

氟橡胶

12

70圆柱靶

备件*2

21

橡胶油封 20*30*7

4

弧源挡板

备件*2

22

O型密封圈Φ100*4

丁腈橡胶

12

柱靶盲板

备件*2

23

O型密封圈Φ105*4

丁腈橡胶

1

下转架盲板

备件*2

24

O型密封圈Φ45*3

丁腈橡胶

2

光栅阀盲板

备件*2

25

O型密封圈Φ112X5

丁腈橡胶

10

弧源盲板

备件*2

26

O型密封圈Φ18X3

丁腈橡胶

10

弧源盲板

备件*2

27

唇形胶条 长2760

真空橡胶

2

弧源法兰

备件*2

28

油封 15X35X10

橡胶I组

2

气动光栅阀

备件*2

29

0型密封圈Φ42*4

丁晴橡胶

2

气动光栅阀

备件*2

30

O型密封圈Φ458*8

丁晴橡胶

2

两位一体阀

备件*2

31

O型密封圈Φ64*4

氟橡胶

2

两位一体阀

备件*2

32

O型密封圈Φ31*4

氟橡胶

6

两位一体阀

备件*2

33

凸型胶圈Φ408*7

氟橡胶

2

两位一体阀

备件*2

34

骨架油封Φ10XΦ22X7

丁腈橡胶

20

弧源

备件*2

35

O型密封圈Φ18X3

丁腈橡胶

20

弧源

备件*2

36

O型密封圈Φ108X5

氟橡胶

10

弧源

备件*2

37

O型密封圈Φ112X5

氟橡胶

10

弧源

备件*2