炉体尺寸

φ1700*H1300

有效空间

φ1300 *H900

最大工件尺寸*数量

φ150 * 24个

标准配置

阴极弧10个/中频4对/平面靶2个

工作电压/频率

400V±10%/50Hz

实际功率

150KW

应用技术

ZP+PMB+ARC+LZY（选配）

靶材数量

圆柱靶8个/平面靶2个/弧源10个

极限压力

8.0×10^-4Pa

漏率

<10^-3Pa.L/s

抽气时间

大气到6X10^-3 <25分钟

真空系统

分子泵、罗茨泵、旋片泵

标准涂层效果

IP黑，玫瑰金，IP金，宝石蓝，香槟金，

炫银，咖啡色，七彩，枪黑色，锆金，玫

瑰红等

电源类型

直流逆变电源、脉冲偏压电源、中频磁控

电源、直流磁控电源

工件转架结构

下转架结构

真空室结构

立式单开门

生产周期

0.5-2小时/炉

外围尺寸

L 4000 *W4000*H 2500MM

应用

装饰镀镀膜、DLC膜

配套条件

循环水压力：2-3KG/CM³

水量：10T/H  

压缩空气：4-6 KG/CM³

控制方式

手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC

自己开发的镀膜专用软件

工作气体

Ar、N₂、C₂H₂等

备注

设备可按客户产品或特殊工艺要求订做，以上信息仅供参考。

颜色

金色

香槟

咖啡色

玫瑰红

宝石蓝

铬白

银灰

枪黑

超黑

厚度（µm）

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

硬度（HV）

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

盐雾测试

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

硬度（HV）

厚度（µm）

橡皮耐磨

盐雾测试

颜色

800~1000

0.8~2.5

1000次以上

48H以上

装饰度色系