设备简述/Equipment Brief
安装尺寸 |
W4200×L8000×H4600mm |
腔体尺寸 |
W1300×L1300×H1500mm |
装载 |
10 轴自转Ф150×H890mm |
多弧源 |
6×Ф100 弧源, 1号腔体 |
溅射 |
8×Ф70圆柱阴极 |
真空范围 |
ATM-6X10-4 Pa |
离子清洗 |
偏压清洁,腔体1
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真空隔离 |
插板阀 ,W720×H1100 |
镀膜节拍 |
30-60分/批次 |
电源 |
380V 50Hz |
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